芯源微取得涂胶显影设备专利，大幅度提高效率

2024年8月25日消息，天眼查知识产权信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得一项名为“涂胶显影设备“，授权公告号CN111796493B，申请日期为2020年8月。

专利摘要显示，本发明提供了一种涂胶显影设备，包括载体块；接口块；第一工艺模块，设置于所述载体块和所述接口块之间，且包括第一液体处理模块以及设置于所述第一液体处理模块相对两侧的第一热处理模块和第二热处理模块；其中，所述第一热处理模块包括四层层叠设置的第一热处理单元，所述第一液体处理模块包括四层层叠设置的第一液体处理单元，所述第二热处理模块包括四层层叠设置的第二热处理单元，且每一个单元均具有一个相适配的机械手。所述涂胶显影设备中，大幅度减少了单个机械手的搬运行程，增加了相同时间内搬运晶圆的数量，提高了效率。

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