长鑫存储申请半导体器件专利,覆盖第一器件区域和第二器件区域的栅氧化层

admin 阅读: 2024-01-16 13:17:18
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(原标题:长鑫存储申请半导体器件专利,覆盖第一器件区域和第二器件区域的栅氧化层)

金融界2024年1月16日消息,据国家知识产权局公告,长鑫存储技术有限公司申请一项名为“半导体器件及其制作方法、存储器“,公开号CN117410233A,申请日期为2022年7月。

专利摘要显示,本公开实施例公开了一种半导体器件的制作方法,包括:提供衬底;其中,所述衬底上具有第一器件区域和第二器件区域;其中,所述第一器件区域与所述第二器件区域掺杂类型不同;形成覆盖所述第一器件区域和所述第二器件区域的栅氧化层;形成覆盖所述栅氧化层的栅导电层;在所述第一器件区域上,形成第一栅极结构,第一栅极结构包括栅导电层和栅氧化层的第一栅极结构;在第二器件区域上,形成第二栅极结构,第二栅极结构包括栅导电层和栅氧化层;其中,在第一器件区域和第二器件区域内,栅导电层始终覆盖栅氧化层。

本文源自:金融界

作者:情报员

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